Das IMP besitzt eine umfangreiche Laboraustattung, zu der neben etlichen Foto-, Chemie- und Probenpräparationsräumen auch diverse Großgeräte und besondere Einrichtungen zählen:


Elektronenmikroskope


  • Titan E-TEM mit Bildkorrektor, X-FEG, GIF und Monochromator
    (environmental transmission electron microscope)
  • CM 30: Transmission Electron Microscope 300 kV
  • CM 12: Transmission Electron Microscope 120 kV
  • CM 120: Transmission Electron Microscope 120 kV
  • Tecnai Spirit: Transmission Electron Microscope 120 kV



Raster-Elektronenmikroskope


  • SEM 515: Scanning Electron Microscope
  • Nano SEM 650: In-situ-Scanning Electron Microscope



Focussed Ion Beam


  • Nova Nano Lab 600: Focused Ion Beam (Fokussierter Ionenstrahl; FIB)
  • Helios G4 uc (Thermo Scientific Helios G4 DualBeam; FIB-2)



Röntgenanlagen


  • Röntgendiffraktometer X-pert (Philips)
  • Röntgendiffraktometer D8 zur Vermessung dünner Schichten (Bruker)



Atomsonden


  • Laser-gestützte tomographische Atomsonde TAP
  • 3D atom probe (3D Atomsonde)



Mechanische Untersuchungen


  • Rasterkraftmikroskop AFM MFP 3DSA (Asylum Research)
  • Nanoindenter Nano G200 (Nano Instruments)



Thermische Untersuchungen


  • DSC: Differential Scanning Calorimetry (Kalorimetrische Analyse)
  • Thermogravimetrie TGA-7 (Perkin Elmer)
  • 3-Omega Messsysteme zur Messung der thermischen Leitfähigkeit



Schichtdeposition


  • PLD: Pulsed Laser Deposition (Gepulste Laserdeposition)
  • Ionenstrahlsputteranlage mit integrierten Rastertunnel- und Rasterkraftmikroskop
  • Sputteranlagen mit unterschiedlichen Quellen (HF / RF / DC)
  • Ionenstrahl- und Magnetronsputteranlagen zur Herstellung von Oxiden



Charakterisierung


  • Ellipsometer 341-G (Nanofilm)
  • Dektak 150 Profilometer (Veeco)
  • FT-IR Infrarotspektometer Tensor 37 (Bruker)
  • Kohlenstoffanalyse (Bruker)



Erosion


  • Funkenerosion Brother HS-300
  • Senkerodiermaschine Charmilles D10